VANTAGE 800
OGP测量仪Vantage 800的主要技术指标，■标配/□选配：
■测量范围(XYZ): 790x815x300mm
■测量系统的尺寸（长/宽/高）: 1463x2150x2100mm,2575kg
■分辨率: 0.1μm
□分辨率: 0.05μm，X轴双光栅
■马达驱动: 4轴DC伺服马达驱动
□马达驱动:XY液体冷却型线性马达，Z轴和ZOOM为DC伺服马达驱动
■手动工作台控制: 4轴操纵杆(X,Y,Z,变焦) ，具有人性化的多功能的QVI摇杆
■工作台: 有夹具孔且阳极氧化，平台玻璃，75公斤承载力
■光学: 10:1 TelaStar同轴远心自动校准变焦镜，0.8x-8x变焦范围，1x物镜
□物镜: 2.0x，0.5x，4.0x
□辅助物镜:0.5x，2.0x，4.0x
■照明: 绿色LED背光，同轴LED表面光，8段6环SmartRing LED白光源
■视频系统: 高分辨率黑白数码CCD
■影像处理: 10:1次像素分辨率, 256灰阶
□多元传感器选项: TP20或TP200接触式探针，SP25扫描探针，羽毛探针，DRS激光，TeleStarTTL激光，LED栅格投影，彩虹测头，转台
■电力需求: 100-120VAC或200-240VAC，50/60Hz,1ф,700W
■额定环境: 18-22℃，±1℃/小时，30-80%相对湿度(无冷凝水)，振动<0.001g，低于15Hz
■安全操作环境: 15-30℃
■软件：ZONE3 Express
□软件：ZONE3 Prime/ZONE3 Pro/ZONE3 Offline/MeasureMind 3D/Measure-X/MeasureFit/SmartFit 3D/SmartProfile
■精度: XY:E2 = (2.0+5L/1000) μm*
□精度: XY:E2 = (1.4+6L/1000) μm* （选用0.05μm分辨率的光栅尺）
■精度: Z:E1=(2.5+5L/1000) μm*
□精度: Z:E1=(1.5+5L/1000) μm* (用可选的DRS-300或-500激光，TP-20或-200接触式探针)
*1、其中，L = 测量长度（单位为mm），适用于温度稳定的额定环境条件，所有光学精度指标均系采用设备最大变焦倍率设定。
*2、负载均匀分布，载重不超过5kg，取决于负载的分布情况，如使用设备最大额定负载条件下的精度可能低于标准精度。
*3、在标准测量平面内测量，标准测量平面是指在工作台表面25 mm以内的平面。
*4、E1为Z轴线性精度，以及E2为XY平面精度的标准如QVI发布的公刊号790762所述。
以上设备描述和参数仅供参考，不作为任何销售合同及技术协议的依据。明确的设备描述和参数以方案咨询、研讨及确认后签订的技术协议中的设备描述和参数为准。
